离焦激光直写光刻工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵晶丽 ; 卢振武
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| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2002-09-25 |
| 期号 | 09页码:850-854 |
| 关键词 | 激光直写光刻 离焦写入 四轴激光直写系统 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29102]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵晶丽,卢振武. 离焦激光直写光刻工艺研究[J]. 中国激光,2002(09):850-854. |
| APA | 赵晶丽,&卢振武.(2002).离焦激光直写光刻工艺研究.中国激光(09),850-854. |
| MLA | 赵晶丽,et al."离焦激光直写光刻工艺研究".中国激光 .09(2002):850-854. |
入库方式： OAI收割
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