薄膜应力激光测量方法分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王成 ; 马莹 ; 张贵彦 ; 肖孟超 ; 甘志宏 ; 缪同群 ; 钱龙生 |
| 刊名 | 激光技术
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| 出版日期 | 2005-02-28 |
| 期号 | 01页码:98-100 |
| 关键词 | 激光 薄膜 应力 测量 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29116]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王成,马莹,张贵彦,等. 薄膜应力激光测量方法分析[J]. 激光技术,2005(01):98-100. |
| APA | 王成.,马莹.,张贵彦.,肖孟超.,甘志宏.,...&钱龙生.(2005).薄膜应力激光测量方法分析.激光技术(01),98-100. |
| MLA | 王成,et al."薄膜应力激光测量方法分析".激光技术 .01(2005):98-100. |
入库方式： OAI收割
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