薄膜应力测量方法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王成 ; 张贵彦 ; 马莹 ; 肖孟超 ; 钱龙生 |
| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2004-09-20 |
| 期号 | 09页码:28-32 |
| 关键词 | 光学 薄膜 应力 激光干涉 激光偏转 X射线 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29246]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王成,张贵彦,马莹,等. 薄膜应力测量方法研究[J]. 激光与光电子学进展,2004(09):28-32. |
| APA | 王成,张贵彦,马莹,肖孟超,&钱龙生.(2004).薄膜应力测量方法研究.激光与光电子学进展(09),28-32. |
| MLA | 王成,et al."薄膜应力测量方法研究".激光与光电子学进展 .09(2004):28-32. |
入库方式： OAI收割
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