极紫外投影光刻原理装置的集成研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金春水
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2002-07-17 |
| 期号 | 07页码:852-857 |
| 关键词 | 极紫外 极紫外投影光刻 多层膜反射镜 Schwarzschild物镜 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29282]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水. 极紫外投影光刻原理装置的集成研究[J]. 光学学报,2002(07):852-857. |
| APA | 金春水.(2002).极紫外投影光刻原理装置的集成研究.光学学报(07),852-857. |
| MLA | 金春水."极紫外投影光刻原理装置的集成研究".光学学报 .07(2002):852-857. |
入库方式： OAI收割
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