变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 时轮 |
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 出版日期 | 2002-12-30 |
| 期号 | 04页码:32-35 |
| 关键词 | 变栅距(VLS)光栅 刻划机 控制系统 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29297]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 时轮. 变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计[J]. 微细加工技术,2002(04):32-35. |
| APA | 时轮.(2002).变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计.微细加工技术(04),32-35. |
| MLA | 时轮."变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计".微细加工技术 .04(2002):32-35. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。