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直线电机在微电子领域中的应用

文献类型:期刊论文

作者刘伟
刊名光学精密工程
出版日期2001-08-30
期号04页码:311-314
关键词直线电机 工业控制器 驱动器 微电子学
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29323]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
刘伟. 直线电机在微电子领域中的应用[J]. 光学精密工程,2001(04):311-314.
APA 刘伟.(2001).直线电机在微电子领域中的应用.光学精密工程(04),311-314.
MLA 刘伟."直线电机在微电子领域中的应用".光学精密工程 .04(2001):311-314.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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