直线电机在微电子领域中的应用
文献类型:期刊论文
作者 | 刘伟![]() |
刊名 | 光学精密工程
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出版日期 | 2001-08-30 |
期号 | 04页码:311-314 |
关键词 | 直线电机 工业控制器 驱动器 微电子学 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29323] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘伟. 直线电机在微电子领域中的应用[J]. 光学精密工程,2001(04):311-314. |
APA | 刘伟.(2001).直线电机在微电子领域中的应用.光学精密工程(04),311-314. |
MLA | 刘伟."直线电机在微电子领域中的应用".光学精密工程 .04(2001):311-314. |
入库方式: OAI收割
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