用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 廖燕平 ; 邵喜斌 ; 吴渊 ; 骆文生 ; 付国柱 ; 荆海 ; 马凯 |
| 刊名 | 液晶与显示
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| 出版日期 | 2005-04-26 |
| 期号 | 02页码:128-132 |
| 关键词 | 多晶硅薄膜 金属诱导准分子激光晶化 NiSi2 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29356]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 廖燕平,邵喜斌,吴渊,等. 用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜[J]. 液晶与显示,2005(02):128-132. |
| APA | 廖燕平.,邵喜斌.,吴渊.,骆文生.,付国柱.,...&马凯.(2005).用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜.液晶与显示(02),128-132. |
| MLA | 廖燕平,et al."用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜".液晶与显示 .02(2005):128-132. |
入库方式： OAI收割
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