蚀刻表面面形的分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 卢振武 ; 曹召良; 赵晶丽
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| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2002-07-25 |
| 期号 | 07页码:887-893 |
| 关键词 | 离子束蚀刻 光栅 表面浮雕结构 准单向蚀刻效应 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29384]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢振武,曹召良,赵晶丽. 蚀刻表面面形的分析[J]. 光子学报,2002(07):887-893. |
| APA | 卢振武,曹召良,&赵晶丽.(2002).蚀刻表面面形的分析.光子学报(07),887-893. |
| MLA | 卢振武,et al."蚀刻表面面形的分析".光子学报 .07(2002):887-893. |
入库方式： OAI收割
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