激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 熊木地 ; 谭久彬 ; 邢忠宝 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2003-12-30 |
| 期号 | 04页码:33-38 |
| 关键词 | 平稳驱动 机电混合滤波器 锁相环速度控制 模糊参数自调整 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29385]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊木地,谭久彬,邢忠宝. 激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究[J]. 微细加工技术,2003(04):33-38. |
| APA | 熊木地,谭久彬,&邢忠宝.(2003).激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究.微细加工技术(04),33-38. |
| MLA | 熊木地,et al."激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究".微细加工技术 .04(2003):33-38. |
入库方式： OAI收割
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