PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张平 ; 王淑荣; 吴一辉
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2003-06-30 |
| 期号 | 02页码:54-58 |
| 关键词 | 微泵 PDMS薄膜 NdFeB薄片 电磁驱动 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29394]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张平,王淑荣,吴一辉. PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作[J]. 微细加工技术,2003(02):54-58. |
| APA | 张平,王淑荣,&吴一辉.(2003).PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作.微细加工技术(02),54-58. |
| MLA | 张平,et al."PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作".微细加工技术 .02(2003):54-58. |
入库方式： OAI收割
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