多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李牧菊 ; 杨柏梁 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2002-04-08 |
| 期号 | 04页码:414-418 |
| 关键词 | 薄膜晶体管 热电子发射 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29409]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李牧菊,杨柏梁. 多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计[J]. 半导体学报,2002(04):414-418. |
| APA | 李牧菊,&杨柏梁.(2002).多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计.半导体学报(04),414-418. |
| MLA | 李牧菊,et al."多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计".半导体学报 .04(2002):414-418. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。