高反射率13nmMo/Si多层膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘毅楠 ; 马月英 ; 曹健林 |
| 刊名 | 光学仪器
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| 出版日期 | 2001-12-30 |
| 期号 | Z1页码:149-153 |
| 关键词 | 软X射线多层膜 原子力显微镜 离子束溅射镀膜 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29445]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘毅楠,马月英,曹健林. 高反射率13nmMo/Si多层膜[J]. 光学仪器,2001(Z1):149-153. |
| APA | 刘毅楠,马月英,&曹健林.(2001).高反射率13nmMo/Si多层膜.光学仪器(Z1),149-153. |
| MLA | 刘毅楠,et al."高反射率13nmMo/Si多层膜".光学仪器 .Z1(2001):149-153. |
入库方式： OAI收割
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