硅光栅技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘剑
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| 刊名 | 光机电信息
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| 出版日期 | 2002-08-25 |
| 期号 | 08页码:13-15 |
| 关键词 | 硅光栅:8344 衍射光栅:2782 各向异性刻蚀:2681 制作工艺:2002 光刻胶:1650 闪耀光栅:1645 微机械:1511 微细加工技术:1326 多晶硅:1050 反射光栅:922 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29449]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘剑. 硅光栅技术[J]. 光机电信息,2002(08):13-15. |
| APA | 刘剑.(2002).硅光栅技术.光机电信息(08),13-15. |
| MLA | 刘剑."硅光栅技术".光机电信息 .08(2002):13-15. |
入库方式： OAI收割
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