真空自励研磨抛光工艺的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张忠玉
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2001-06-30 |
| 期号 | 03页码:238-241 |
| 关键词 | 真空自励抛光盘 超薄镜 抛光 数字控制 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29453]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张忠玉. 真空自励研磨抛光工艺的研究[J]. 光学精密工程,2001(03):238-241. |
| APA | 张忠玉.(2001).真空自励研磨抛光工艺的研究.光学精密工程(03),238-241. |
| MLA | 张忠玉."真空自励研磨抛光工艺的研究".光学精密工程 .03(2001):238-241. |
入库方式： OAI收割
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