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近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究

文献类型:期刊论文

作者卢振武
刊名物理学报
出版日期2005-07-12
期号07页码:3144-3148
关键词光学检测 近柱面 曲面拟合
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29477]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
卢振武. 近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究[J]. 物理学报,2005(07):3144-3148.
APA 卢振武.(2005).近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究.物理学报(07),3144-3148.
MLA 卢振武."近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究".物理学报 .07(2005):3144-3148.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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