临界角法探焦静态特性实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯晓国
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| 刊名 | 计量技术
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| 出版日期 | 2005-03-18 |
| 期号 | 03页码:3-5 |
| 关键词 | 光刻 焦点探测 临界角 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29659]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯晓国. 临界角法探焦静态特性实验研究[J]. 计量技术,2005(03):3-5. |
| APA | 冯晓国.(2005).临界角法探焦静态特性实验研究.计量技术(03),3-5. |
| MLA | 冯晓国."临界角法探焦静态特性实验研究".计量技术 .03(2005):3-5. |
入库方式： OAI收割
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