微小芯片粘贴系统的拾取误差校正
文献类型:期刊论文
作者 | 刘轩 ; 汤建华 ; 黄波 |
刊名 | 微计算机信息
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出版日期 | 2005-07-30 |
期号 | 21页码:16-18 |
关键词 | 误差校正 运动控制 视觉定位 粘片机 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29683] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘轩,汤建华,黄波. 微小芯片粘贴系统的拾取误差校正[J]. 微计算机信息,2005(21):16-18. |
APA | 刘轩,汤建华,&黄波.(2005).微小芯片粘贴系统的拾取误差校正.微计算机信息(21),16-18. |
MLA | 刘轩,et al."微小芯片粘贴系统的拾取误差校正".微计算机信息 .21(2005):16-18. |
入库方式: OAI收割
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