用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘伟
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| 刊名 | 哈尔滨工业大学学报
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| 出版日期 | 2004-03-30 |
| 期号 | 03页码:310-312 |
| 关键词 | 激光直接写入设备 纳米分辨力 调焦伺服机构 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29708]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘伟. 用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构[J]. 哈尔滨工业大学学报,2004(03):310-312. |
| APA | 刘伟.(2004).用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构.哈尔滨工业大学学报(03),310-312. |
| MLA | 刘伟."用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构".哈尔滨工业大学学报 .03(2004):310-312. |
入库方式： OAI收割
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