制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 时轮 ; 马春翔 ; 胡德金 ; 郝德阜 |
| 刊名 | 光学技术
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| 出版日期 | 2004-05-20 |
| 期号 | 03页码:340-342 |
| 关键词 | 衍射光栅 光电 刻划 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29725]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 时轮,马春翔,胡德金,等. 制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究[J]. 光学技术,2004(03):340-342. |
| APA | 时轮,马春翔,胡德金,&郝德阜.(2004).制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究.光学技术(03),340-342. |
| MLA | 时轮,et al."制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究".光学技术 .03(2004):340-342. |
入库方式： OAI收割
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