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Si衬底上ZnSe外延膜的低压MOCVD生长

文献类型:期刊论文

作者申德振; 张振中
刊名发光学报
出版日期2002-08-30
期号04页码:330-334
关键词ZnSe外延膜 Si衬底 低压MOCVD
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29737]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
申德振,张振中. Si衬底上ZnSe外延膜的低压MOCVD生长[J]. 发光学报,2002(04):330-334.
APA 申德振,&张振中.(2002).Si衬底上ZnSe外延膜的低压MOCVD生长.发光学报(04),330-334.
MLA 申德振,et al."Si衬底上ZnSe外延膜的低压MOCVD生长".发光学报 .04(2002):330-334.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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