离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘星元 ; 王立军
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| 刊名 | 液晶与显示
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| 出版日期 | 2001-06-15 |
| 期号 | 02页码:135-139 |
| 关键词 | 氧化锌 透明导电膜 离子辅助蒸发 电子束蒸发 氧化物半导体 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29751]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘星元,王立军. 离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究[J]. 液晶与显示,2001(02):135-139. |
| APA | 刘星元,&王立军.(2001).离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究.液晶与显示(02),135-139. |
| MLA | 刘星元,et al."离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究".液晶与显示 .02(2001):135-139. |
入库方式： OAI收割
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