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17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究

文献类型:期刊论文

作者尼启良; 陈波
刊名光学精密工程
出版日期2005-04-25
期号02页码:225-230
关键词极紫外 激光等离子体 单色仪 微通道板
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29774]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
尼启良,陈波. 17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究[J]. 光学精密工程,2005(02):225-230.
APA 尼启良,&陈波.(2005).17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究.光学精密工程(02),225-230.
MLA 尼启良,et al."17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究".光学精密工程 .02(2005):225-230.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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