电磁型平面微电机及其制作工艺
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴一辉 ; 王淑荣
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2003-04-25 |
| 期号 | 02页码:120-124 |
| 关键词 | 平面微电机 LIGA工艺 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29806]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉,王淑荣. 电磁型平面微电机及其制作工艺[J]. 光学精密工程,2003(02):120-124. |
| APA | 吴一辉,&王淑荣.(2003).电磁型平面微电机及其制作工艺.光学精密工程(02),120-124. |
| MLA | 吴一辉,et al."电磁型平面微电机及其制作工艺".光学精密工程 .02(2003):120-124. |
入库方式： OAI收割
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