曝光量对计量光栅均匀性的影响
文献类型:期刊论文
作者 | 陈赟 |
刊名 | 长春理工大学学报
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出版日期 | 2005-09-30 |
期号 | 03页码:122-124 |
关键词 | 计量光栅 曝光量 黑白比 均匀性 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29829] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟. 曝光量对计量光栅均匀性的影响[J]. 长春理工大学学报,2005(03):122-124. |
APA | 陈赟.(2005).曝光量对计量光栅均匀性的影响.长春理工大学学报(03),122-124. |
MLA | 陈赟."曝光量对计量光栅均匀性的影响".长春理工大学学报 .03(2005):122-124. |
入库方式: OAI收割
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