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曝光量对计量光栅均匀性的影响

文献类型:期刊论文

作者陈赟
刊名长春理工大学学报
出版日期2005-09-30
期号03页码:122-124
关键词计量光栅 曝光量 黑白比 均匀性
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29829]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
陈赟. 曝光量对计量光栅均匀性的影响[J]. 长春理工大学学报,2005(03):122-124.
APA 陈赟.(2005).曝光量对计量光栅均匀性的影响.长春理工大学学报(03),122-124.
MLA 陈赟."曝光量对计量光栅均匀性的影响".长春理工大学学报 .03(2005):122-124.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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