微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴一辉
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| 刊名 | 兵工学报
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| 出版日期 | 2002-06-20 |
| 期号 | 02页码:228-230 |
| 关键词 | 微致动器 微力矩 非接触测量 微电子机械系统 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29831]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究[J]. 兵工学报,2002(02):228-230. |
| APA | 吴一辉.(2002).微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究.兵工学报(02),228-230. |
| MLA | 吴一辉."微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究".兵工学报 .02(2002):228-230. |
入库方式： OAI收割
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