离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 卢振武
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2001-03-30 |
| 期号 | 01页码:26-29 |
| 关键词 | 衍射光学元件 离子束刻蚀 菲涅耳透镜 衍射效率 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29848]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢振武. 离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜[J]. 微细加工技术,2001(01):26-29. |
| APA | 卢振武.(2001).离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜.微细加工技术(01),26-29. |
| MLA | 卢振武."离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜".微细加工技术 .01(2001):26-29. |
入库方式： OAI收割
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