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利用去湿现象制备图案化的离子刻蚀聚合物保护层

文献类型:期刊论文

作者曹召良; 卢振武
刊名高等学校化学学报
出版日期2003-01-15
期号12页码:2390-2392
关键词聚合物 去湿 微接触印刷 自组装单层膜 离子刻蚀
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29927]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
曹召良,卢振武. 利用去湿现象制备图案化的离子刻蚀聚合物保护层[J]. 高等学校化学学报,2003(12):2390-2392.
APA 曹召良,&卢振武.(2003).利用去湿现象制备图案化的离子刻蚀聚合物保护层.高等学校化学学报(12),2390-2392.
MLA 曹召良,et al."利用去湿现象制备图案化的离子刻蚀聚合物保护层".高等学校化学学报 .12(2003):2390-2392.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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