偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张平 ; 王淑荣; 吴一辉
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| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2004-06-25 |
| 期号 | 06页码:755-757 |
| 关键词 | (111)硅片 闪耀光栅 体硅技术 湿法腐蚀 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29965]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张平,王淑荣,吴一辉. 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作[J]. 光子学报,2004(06):755-757. |
| APA | 张平,王淑荣,&吴一辉.(2004).偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作.光子学报(06),755-757. |
| MLA | 张平,et al."偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作".光子学报 .06(2004):755-757. |
入库方式： OAI收割
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