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软X射线激光多层膜均匀性控制技术

文献类型:期刊论文

作者金春水
刊名光学仪器
出版日期2001-12-30
期号Z1页码:154-160
关键词软X射线激光 多层膜 均匀性控制
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29982]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
金春水. 软X射线激光多层膜均匀性控制技术[J]. 光学仪器,2001(Z1):154-160.
APA 金春水.(2001).软X射线激光多层膜均匀性控制技术.光学仪器(Z1),154-160.
MLA 金春水."软X射线激光多层膜均匀性控制技术".光学仪器 .Z1(2001):154-160.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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