极紫外投影光刻掩模技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金春水
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2003-09-30 |
| 期号 | 03页码:16-21+41 |
| 关键词 | 极紫外 投影光刻 多层膜 掩模 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29983]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水. 极紫外投影光刻掩模技术[J]. 微细加工技术,2003(03):16-21+41. |
| APA | 金春水.(2003).极紫外投影光刻掩模技术.微细加工技术(03),16-21+41. |
| MLA | 金春水."极紫外投影光刻掩模技术".微细加工技术 .03(2003):16-21+41. |
入库方式： OAI收割
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