硅光栅的制作与应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴一辉
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2002-02-25 |
| 期号 | 02页码:29-33 |
| 关键词 | 硅 光栅 微加工技术 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30016]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 硅光栅的制作与应用[J]. 微纳电子技术,2002(02):29-33. |
| APA | 吴一辉.(2002).硅光栅的制作与应用.微纳电子技术(02),29-33. |
| MLA | 吴一辉."硅光栅的制作与应用".微纳电子技术 .02(2002):29-33. |
入库方式： OAI收割
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