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在有机玻璃上射频溅射ITO组合薄膜

文献类型:期刊论文

作者高劲松
刊名光学技术
出版日期2001-11-20
期号06页码:501-502
关键词ITO膜 射频磁控溅射 表面改性 低温成膜
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30109]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
高劲松. 在有机玻璃上射频溅射ITO组合薄膜[J]. 光学技术,2001(06):501-502.
APA 高劲松.(2001).在有机玻璃上射频溅射ITO组合薄膜.光学技术(06),501-502.
MLA 高劲松."在有机玻璃上射频溅射ITO组合薄膜".光学技术 .06(2001):501-502.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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