磁悬浮微进给机构电磁场研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨秀华 ; 王延风 ; 卢志山 |
| 刊名 | 电光与控制
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| 出版日期 | 2004-09-30 |
| 期号 | 03页码:23-25 |
| 关键词 | CAD/CAE 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30124]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨秀华,王延风,卢志山. 磁悬浮微进给机构电磁场研究[J]. 电光与控制,2004(03):23-25. |
| APA | 杨秀华,王延风,&卢志山.(2004).磁悬浮微进给机构电磁场研究.电光与控制(03),23-25. |
| MLA | 杨秀华,et al."磁悬浮微进给机构电磁场研究".电光与控制 .03(2004):23-25. |
入库方式： OAI收割
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