用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曲炳郡 ; 刘晓鹏 ; 李路明 ; 王立鼎 |
| 刊名 | 中国机械工程
 |
| 出版日期 | 2002-01-15 |
| 期号 | 01页码:35-38+4 |
| 关键词 | 形状记忆合金 薄膜 微型机电系统 冷轧 溅射 原子力显微镜 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30133]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲炳郡,刘晓鹏,李路明,等. 用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究[J]. 中国机械工程,2002(01):35-38+4. |
| APA | 曲炳郡,刘晓鹏,李路明,&王立鼎.(2002).用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究.中国机械工程(01),35-38+4. |
| MLA | 曲炳郡,et al."用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究".中国机械工程 .01(2002):35-38+4. |
入库方式： OAI收割
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