微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 宋文荣 ; 于国飞 ; 孙宝玉 ; 王延风 ; 何惠阳 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2002-06-30 |
| 期号 | 03页码:271-275 |
| 关键词 | 磁悬浮 定位平台 线性电机 无接触驱动 Hopf分叉 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30151]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋文荣,于国飞,孙宝玉,等. 微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究[J]. 光学精密工程,2002(03):271-275. |
| APA | 宋文荣,于国飞,孙宝玉,王延风,&何惠阳.(2002).微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究.光学精密工程(03),271-275. |
| MLA | 宋文荣,et al."微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究".光学精密工程 .03(2002):271-275. |
入库方式： OAI收割
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