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亚波长介质光栅的制作误差分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 卢振武 ; 赵晶丽; 孙强; 曹召良
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| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2004-01-25 |
| 期号 | 01页码:76-80 |
| 关键词 | 亚波长 光栅 方向误差 面形误差 RCWA 衍射效率 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30199]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢振武,赵晶丽,孙强,等. 亚波长介质光栅的制作误差分析[J]. 光子学报,2004(01):76-80. |
| APA | 卢振武,赵晶丽,孙强,&曹召良.(2004).亚波长介质光栅的制作误差分析.光子学报(01),76-80. |
| MLA | 卢振武,et al."亚波长介质光栅的制作误差分析".光子学报 .01(2004):76-80. |
入库方式： OAI收割
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