双转子平面微电机定子制作工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王淑荣 ; 梁静秋; 张平; 吴一辉
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2003-03-30 |
| 期号 | 01页码:73-75+80 |
| 关键词 | 双转子 平面微电机 定子 孔引线 准LIGA技术 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30330]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王淑荣,梁静秋,张平,等. 双转子平面微电机定子制作工艺研究[J]. 微细加工技术,2003(01):73-75+80. |
| APA | 王淑荣,梁静秋,张平,&吴一辉.(2003).双转子平面微电机定子制作工艺研究.微细加工技术(01),73-75+80. |
| MLA | 王淑荣,et al."双转子平面微电机定子制作工艺研究".微细加工技术 .01(2003):73-75+80. |
入库方式： OAI收割
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