通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数
文献类型:期刊论文
作者 | 卢振武![]() |
刊名 | 光电子·激光
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出版日期 | 2005-02-15 |
期号 | 02页码:150-154 |
关键词 | 折射型微透镜阵列 光刻胶热熔法 F数(F#) 缩短显影时间 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30345] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢振武. 通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数[J]. 光电子·激光,2005(02):150-154. |
APA | 卢振武.(2005).通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数.光电子·激光(02),150-154. |
MLA | 卢振武."通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数".光电子·激光 .02(2005):150-154. |
入库方式: OAI收割
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