高分辨率光电尺寸检测系统研究
文献类型:期刊论文
作者 | 张国玉 ; 安志勇 ; 曹维国 ; 李成志 |
刊名 | 航空计测技术
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出版日期 | 1996-04-15 |
期号 | 02页码:6-9+46 |
关键词 | 分辨率 光电检测 系统 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30363] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张国玉,安志勇,曹维国,等. 高分辨率光电尺寸检测系统研究[J]. 航空计测技术,1996(02):6-9+46. |
APA | 张国玉,安志勇,曹维国,&李成志.(1996).高分辨率光电尺寸检测系统研究.航空计测技术(02),6-9+46. |
MLA | 张国玉,et al."高分辨率光电尺寸检测系统研究".航空计测技术 .02(1996):6-9+46. |
入库方式: OAI收割
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