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高分辨率光电尺寸检测系统研究

文献类型:期刊论文

作者张国玉 ; 安志勇 ; 曹维国 ; 李成志
刊名航空计测技术
出版日期1996-04-15
期号02页码:6-9+46
关键词分辨率 光电检测 系统
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30363]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张国玉,安志勇,曹维国,等. 高分辨率光电尺寸检测系统研究[J]. 航空计测技术,1996(02):6-9+46.
APA 张国玉,安志勇,曹维国,&李成志.(1996).高分辨率光电尺寸检测系统研究.航空计测技术(02),6-9+46.
MLA 张国玉,et al."高分辨率光电尺寸检测系统研究".航空计测技术 .02(1996):6-9+46.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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