纳米X－Y工作台固有频率特性的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴一辉
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1995-12-30 |
| 期号 | 06页码:50-54 |
| 关键词 | 纳米定位 x—y工作台 固有频率特性 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30412]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 纳米X－Y工作台固有频率特性的研究[J]. 光学精密工程,1995(06):50-54. |
| APA | 吴一辉.(1995).纳米X－Y工作台固有频率特性的研究.光学精密工程(06),50-54. |
| MLA | 吴一辉."纳米X－Y工作台固有频率特性的研究".光学精密工程 .06(1995):50-54. |
入库方式： OAI收割
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