工作波长短于10nm的软X射线多层膜
文献类型:期刊论文
作者 | 吕俊霞 ; 马月英 ; 张俊平 ; 王占山 ; 曹健林 |
刊名 | 光学精密工程
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出版日期 | 1996-04-30 |
期号 | 02页码:19-24 |
关键词 | 软X射线 多层膜反射镜 正入射 膜系设计和模拟计算 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30477] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕俊霞,马月英,张俊平,等. 工作波长短于10nm的软X射线多层膜[J]. 光学精密工程,1996(02):19-24. |
APA | 吕俊霞,马月英,张俊平,王占山,&曹健林.(1996).工作波长短于10nm的软X射线多层膜.光学精密工程(02),19-24. |
MLA | 吕俊霞,et al."工作波长短于10nm的软X射线多层膜".光学精密工程 .02(1996):19-24. |
入库方式: OAI收割
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