用于测量微图形的高速机械扫描系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张二星 ; 阮锦 ; 赵军 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1994-06-30 |
| 期号 | 03页码:80-84 |
| 关键词 | 微型机械 微图形 机械扫描 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30489]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张二星,阮锦,赵军. 用于测量微图形的高速机械扫描系统[J]. 光学精密工程,1994(03):80-84. |
| APA | 张二星,阮锦,&赵军.(1994).用于测量微图形的高速机械扫描系统.光学精密工程(03),80-84. |
| MLA | 张二星,et al."用于测量微图形的高速机械扫描系统".光学精密工程 .03(1994):80-84. |
入库方式： OAI收割
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