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用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化

文献类型:期刊论文

作者王文生
刊名仪器仪表学报
出版日期1989-03-02
期号01页码:43-47
关键词干涉测长:5101 自动测试:4008 测试技术:3576 干涉系统:3379 计算机控制:3193 测试结果:2548 物体:2276 电视监视器:2067 参考反射镜:2036 仪器仪表:1838
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30508]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王文生. 用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化[J]. 仪器仪表学报,1989(01):43-47.
APA 王文生.(1989).用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化.仪器仪表学报(01),43-47.
MLA 王文生."用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化".仪器仪表学报 .01(1989):43-47.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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