采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡卫兵
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| 刊名 | 光学仪器
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| 出版日期 | 1999-10-30 |
| 期号 | Z1页码:218-222 |
| 关键词 | EUV多层膜 Faraday旋转 偏光器 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30534]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡卫兵. 采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置(英文)[J]. 光学仪器,1999(Z1):218-222. |
| APA | 胡卫兵.(1999).采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置(英文).光学仪器(Z1),218-222. |
| MLA | 胡卫兵."采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置(英文)".光学仪器 .Z1(1999):218-222. |
入库方式： OAI收割
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