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高分辨率CCD光电尺寸自动检测仪的研究

文献类型:期刊论文

作者安志勇 ; 张国玉 ; 宋路 ; 姜会林
刊名光学技术
出版日期1997-05-20
期号03页码:36+51+37
关键词线阵CCD 影像法 尺寸检测
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30538]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
安志勇,张国玉,宋路,等. 高分辨率CCD光电尺寸自动检测仪的研究[J]. 光学技术,1997(03):36+51+37.
APA 安志勇,张国玉,宋路,&姜会林.(1997).高分辨率CCD光电尺寸自动检测仪的研究.光学技术(03),36+51+37.
MLA 安志勇,et al."高分辨率CCD光电尺寸自动检测仪的研究".光学技术 .03(1997):36+51+37.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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