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薄膜沉积法制作菲涅耳透镜

文献类型:期刊论文

作者卢振武
刊名微细加工技术
出版日期2000-12-30
期号04页码:40-44
关键词衍射光学元件 薄膜沉积 菲涅耳透镜 衍射效率
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30541]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
卢振武. 薄膜沉积法制作菲涅耳透镜[J]. 微细加工技术,2000(04):40-44.
APA 卢振武.(2000).薄膜沉积法制作菲涅耳透镜.微细加工技术(04),40-44.
MLA 卢振武."薄膜沉积法制作菲涅耳透镜".微细加工技术 .04(2000):40-44.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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