微电子机械前沿
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吕琼莹 |
| 刊名 | 中国科学院院刊
 |
| 出版日期 | 1997-08-15 |
| 期号 | 04页码:264-268 |
| 关键词 | 微机械 纳米技术 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30609]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕琼莹. 微电子机械前沿[J]. 中国科学院院刊,1997(04):264-268. |
| APA | 吕琼莹.(1997).微电子机械前沿.中国科学院院刊(04),264-268. |
| MLA | 吕琼莹."微电子机械前沿".中国科学院院刊 .04(1997):264-268. |
入库方式： OAI收割
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