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精密激光刻划机中的光学技术

文献类型:期刊论文

作者张秋鄂 ; 李永正
刊名长春光学精密机械学院学报
出版日期1997-12-30
期号04页码:43-45
关键词激光 刻划
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30626]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张秋鄂,李永正. 精密激光刻划机中的光学技术[J]. 长春光学精密机械学院学报,1997(04):43-45.
APA 张秋鄂,&李永正.(1997).精密激光刻划机中的光学技术.长春光学精密机械学院学报(04),43-45.
MLA 张秋鄂,et al."精密激光刻划机中的光学技术".长春光学精密机械学院学报 .04(1997):43-45.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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