激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘传珍 ; 杨柏梁 ; 李牧菊 ; 吴渊 ; 张玉 ; 李轶华 ; 邱法斌 ; 黄锡珉 |
| 刊名 | 液晶与显示
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| 出版日期 | 2000-03-30 |
| 期号 | 01页码:46-52 |
| 关键词 | p-Si薄膜 激光退火 能量密度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30653]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘传珍,杨柏梁,李牧菊,等. 激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究[J]. 液晶与显示,2000(01):46-52. |
| APA | 刘传珍.,杨柏梁.,李牧菊.,吴渊.,张玉.,...&黄锡珉.(2000).激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究.液晶与显示(01),46-52. |
| MLA | 刘传珍,et al."激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究".液晶与显示 .01(2000):46-52. |
入库方式： OAI收割
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