软X射线投影光刻原理装置的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金春水
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2000-02-29 |
| 期号 | 01页码:66-70 |
| 关键词 | 软X射线投影光刻 多层膜反射镜 软X射线投影光刻原理装置 激光等离子体光源 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30711]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水. 软X射线投影光刻原理装置的设计[J]. 光学精密工程,2000(01):66-70. |
| APA | 金春水.(2000).软X射线投影光刻原理装置的设计.光学精密工程(01),66-70. |
| MLA | 金春水."软X射线投影光刻原理装置的设计".光学精密工程 .01(2000):66-70. |
入库方式： OAI收割
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